Technische Daten Reinraum

Allgemeine Angaben zum Reinraum

Klimatisiert: Temperatur 22°C / Luftfeuchtigkeit 50%

Luftaufbereitung

Frischluft: 5500 m3/h
Umluft im Reinraum: ca. 30‘000 m3/h
Leistung Kältemaschine:  175 kW
Heizung: Über Gebäudeheizung
Befeuchtung: 2 Dampfbefeuchter

Prozessmedien

Gasversorgung:
Reinstdruckluft
Stickstoff N2 (Reinheit 4.5)
Sauerstoff O2 (Reinheit 4.8)
Argon Ar (Reinheit 4.6)
Tetrafluormethan CF4
Schwefelhexafluorid SF6
Chlor Cl2 (Reinheit Electronic)

Prozesswasser:
15°C zur Kühlung der Anlagen

Reinstwasser:
10 MOhm*cm-1 (Kreislauf)