Charakterisierung von Mikrostrukturen und Schichten

Alphastep IQ, Polysciences, zur Überprüfung der Schichtdicke

Optisches Mikroskop

Reflektometer FILMETRICS F20-UV zur optischen Schichtdickenmessung und Brechindexbestimmung von dielektrischen Dünnschichten, für Schichtdicken zw. 1nm und 70µm, Spektralbereich: 200-1100nm

Rasterelektronenmikroskop,

Laser-Scanning-Mikroskop,

Raster-Kraft-Mikroskop (ausserhalb des Reinraumes)

GD-OES