Beschichten

PVD (physical vapor deposition):
Balzers BAK 600 Aufdampfanlage (thermische Quelle und Elektronenstrahlverdampfen)
Materialien die aufgedampft werden können: Schmelzpunkt zwischen 500°C und 2000°C
Elektronenstrahlverdampfen: 4 Quellen können gleichzeitig montiert werden und sequentiell abgeschieden werden (ohne zwischenzeitliches Belüften der Aufdampfkammer)
Probengrösse: bis 6 Zoll, es können mehrere 6 Zoll Proben gleichzeitig beschichtet werden.

Leybold-Heraeus Z400 Sputteranlage (Zerstäubung von Targetmaterial)

Elektronenstrahl-Beschichtungsanlage