Performance Improvement of Novel Liga resist Using different techniques

Industriepartner:Donyar AG, Biel
High Tech Polymere AG, Basel
Hochschulpartner:csem, Neuchatel
Ecole d'Ingenieur de l'arc Jurassien;
Institut des microtechnologies applique├ęs
Berner Fachhochschule Technik und Informatik;
Laser Surface Engineering Group
Status:Abgeschlossen im August 2005

 

 

Schachbrettstruktur in Photolack, strukturiert mit ps-Pulsen bei 532nm