SEM Specifications

Typ: Zeiss Sigma VP (Schottky-Emitter)
Auflösung bei 20kV:1.5nm
Auflösung bei 1kV:3.0nm
Detektoren:ET-SE, 5Q-BSE, In-Lens, VPSE, SCD
Vergrösserung:bis 1'000'000-fach
Probengrösse:max. 40x100x100mm
Kammerdruck im VP-Modus:3 bis 133Pa

 

 

Rasterelektronenmikroskop @ ALPS